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适用于氮化镓器件N型欧姆接触的制作方法
氮化镓器件 N型欧姆接触 制作方法
2011/11/3
本发明公开了一种适用于氮化镓（ＧａＮ）器件的欧姆接触快速热退火方法。主要解决了常规快速热退火工艺对钛／铝／钛／金（Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉ／Ａｕ）欧姆接触可能造成金属侧流和合金表面形貌粗糙的问题。针对铝镓氮／氮化镓异质结高电子迁移率器件（ＡｌＧａＮ／ＧａＮ ＨＥＭＴ）源／漏欧姆接触工艺中常规采用的Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉ／Ａｕ金属系，提出二次独立快速热退火技术方案，其中高温持续时间明显缩短，该技术使欧姆接触特性和...